•高速傳輸托盤提升高吞吐量。
•優化製成提供優秀的膜厚均勻性及不純物濃度均一性的表現。
•採用SiC Tray降低重金屬汙染性，並穩定長期操作下的溫度變化，達到安定的製程。
•使用托盤自動交換系統及頭基升降系統，保障作業員的安全性及減少設備保養的耗時，更利於清潔。