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AMAX800V
•8 inch 每時100枚的高吞吐量 •採用SiC Tray提供重金屬汙染對策及長期安定的製程 •易維護
Feature
•高速傳輸托盤提升高吞吐量。 •優化製成提供優秀的膜厚均勻性及不純物濃度均一性的表現。 •採用SiC Tray降低重金屬汙染性,並穩定長期操作下的溫度變化,達到安定的製程。 •使用托盤自動交換系統及頭基升降系統,保障作業員的安全性及減少設備保養的耗時,更利於清潔。